激光干涉儀是高精度線性位移測量儀器，目前市場上的干涉儀產(chǎn)品大多為激光干涉儀,。產(chǎn)生激光的方法主要是利用塞曼效應(yīng)和聲光調(diào)制,。一些產(chǎn)品激光頻差達(dá)到20MHz以上。聲光調(diào)制方法的頻率穩(wěn)定性非常好,，可以利用鎖相放大器處理信號(hào),；缺點(diǎn)是穩(wěn)頻、調(diào)制,、合光等環(huán)節(jié)使得光學(xué)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，調(diào)整困難,，成本偏高,。

此前，國產(chǎn)與國外的產(chǎn)品有著一定技術(shù)上的差距,，在這種局面下,，以實(shí)現(xiàn)高精密儀器自主化為己任的中圖儀器自主研制激光干涉儀國產(chǎn)品牌。

SJ6800國產(chǎn)激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源,。其精度高,，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流,、熱波動(dòng)等影響甚微,，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室,，還可在車間條件下測量大距離用,。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： SJ6800

產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀

穩(wěn)頻方式： 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量至大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″,；M為測量距離,，單位：m)

主要特點(diǎn)：絕對測量、恒測力,、無阿貝誤差

系統(tǒng)組件

1,、激光主機(jī)

精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),。

SJ6800激光主機(jī)由DC12V電源適配器供電,，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口,，可與計(jì)算機(jī)高速通信,，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號(hào)輸入和正交信號(hào)輸出,，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用,。

2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

可靠——對空氣溫度,、濕度,、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀是以激光波長為載體,，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度,、濕度、氣壓）的變化會(huì)影響激光波長,。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時(shí)檢測環(huán)境條件的變化,，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭,，監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化,，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計(jì),，無需額外的供電電源,，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場使用,，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板,，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長,。

3,、三腳架及便攜箱

其他組件

1、光學(xué)鏡組

（1）線性鏡組

應(yīng)用于機(jī)器軸的定位精度測量,、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等,；也可用于機(jī)器軸的動(dòng)態(tài)測量分析。

（2）角度鏡組

應(yīng)用于機(jī)器軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量,；亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動(dòng)態(tài)測量分析,。

（3）直線度鏡組

應(yīng)用于導(dǎo)軌或機(jī)器軸的直線度測量，包含水平方向和垂直方向的直線度,。

（4）平面度鏡組

按照國標(biāo)方式進(jìn)行平面度的測量和分析,，其平面度羈絆長度可調(diào)。

（5）線性附件-輕型線性鏡組

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡,，其中小角錐反射鏡重量僅為8g,，可以直接在被測物體上，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響,。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機(jī)械性能或精度,；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合,；負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測量。

（6）大角錐反射鏡

應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量,，起反射光束的作用,。

（7）垂直度鏡組

應(yīng)用于兩條相互垂直的機(jī)器軸的垂直度測量場合。

2,、其他附件

（1）線性附件-可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

能把水平射出的激光俯仰偏轉(zhuǎn)25°以上,，結(jié)合線性鏡組可用于傾斜機(jī)床、三坐標(biāo)對角線的測量,。

（2）磁性表座

科隙蛛在鋼鐵表面,，通過轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，來轉(zhuǎn)動(dòng)里面的磁鐵,，特別適用于機(jī)床和導(dǎo)軌上面的安裝,。配合安裝柱使用，可將安裝柱鎖緊在磁性表座上,。

（3）直線度基板

用于機(jī)器Z軸的垂直度測量,，需配合磕掉轉(zhuǎn)向鏡和大角錐反射鏡使用。

（4）輔助安裝塊

用于鏡組不能直接安裝的場合,。配合磁性表座使用；也可以直接結(jié)合安裝柱使用,。

（5）垂直度安裝附件

在測量機(jī)器Z軸垂直度時(shí),，用于安裝90°轉(zhuǎn)向鏡。

（6）夾緊孔座

用于鏡組的安裝和夾持,，可緊固各鏡組在安裝柱上,。

（7）90°轉(zhuǎn)向鏡

應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起偏轉(zhuǎn)光束的作用,。

（8）安裝柱

主要用于夾緊孔座的安裝定位,，可鎖在磁性表座或輔助安裝塊上。安裝柱可以相互對接延長,，以便增加夾緊孔座的可調(diào)范圍,。

SJ6800激光干涉儀國產(chǎn)品牌測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″,，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″,。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng),、無線操作,。具有測量精度高、測量速度快,、*高測速下分辨率高,、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn),。